半導體無塵車間搬運可以用哪些工具？

來源：http://www.baitangwan.cn/?分類：搬運設備 時間：2025-6-25? 14:33:30

? ? ? ? 半導體制造對生產環境的潔凈度要求近乎苛刻，任何微小的塵埃、震動或靜電都可能對敏感的晶圓和精密設備造成毀滅性影響。半導體無塵車間搬運工具不僅要滿足基本的承重與移動需求，更要確保零污染、零震動、零靜電，同時具備精準微調能力。那么，半導體無塵車間搬運可以用哪些工具？

一、半導體無塵車間起重搬運設備

1、氣墊搬運車

氣墊搬運車以空氣為動力，不會產生高溫和火花和灰塵，不會污染環境，可前進、后退以及360度旋轉，防震無晃動，適合半導體無塵車間搬運，主氣源流量≥1.6立方米/分，保質五年。

2、氣浮搬運平臺

氣浮搬運平臺和氣墊搬運車采用同樣的工作原理，氣源驅動，防震無火花，定制范圍更廣，可定制載荷、尺寸、氣囊數量、驅動方式、操控方式等，適合不同形狀和尺寸的半導體無塵車間搬運，保質五年。

氣墊搬運車（質保五年）	氣浮搬運平臺（保質五年）

二、半導體無塵車間微調頂升設備

1、無塵室帶滑臺爪式千斤頂

無塵室帶滑臺爪式千斤頂可頂升可100mm范圍前后移動，表面經過特殊處理，防塵防銹防靜電，適合半導體微調位移，日本NOK進口油封，保質2年，無塵室帶滑動輪爪式千斤頂可選（前后左右100mm移動）

無塵室帶滑臺爪式千斤頂（保質2年）	無塵室帶滑動輪爪式千斤頂（保質2年）

2、楔形千斤頂

日本DIAKI楔形千斤頂可頂升可推移，采用鋁合金材質，防腐蝕耐生銹，一體便攜式設計，配有液壓手柄可360度旋轉，操作簡單，可利用5mm空隙頂升至34mm，狹窄空間輕松操作。

3、無塵推移滑動紙

僅有A4紙大小，擁有1-5厘米的微調距離，可任意前后左右自由移動，適合1-9噸小型半導體無塵車間搬運，可用于流水線設備微調，相比較其他移動工具性價比高。

日本DAIKI楔形千斤頂	無塵推移滑動紙

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